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2024年3月13日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所硅基材料与集成器件实验室蔡艳研究员、欧欣研究员联合团队,在通讯波段硅基铌酸锂异质集成电光调制器方面取得了重要进展。团队成员利用上海微技术工业研究院标准180 nm硅光工艺在八英寸 SOI上制备了硅光芯片,然后基于“离子刀”异质集成技术(图1),通过直接键合的方式将铌酸锂与SOI晶圆实现异质集成,并通过干法刻蚀技术实现了硅光芯片波导与LN电光...
电动汽车、智能电网、高速列车等新兴工业应用的快速发展,对高精度的电流传感器提出了更高要求。与传统电流传感器相比,基于量子效应的传感装置可以利用量子态操控技术来提高测量的精度。这些优势使得基于量子效应的电流传感器在各种应用中具有广泛的应用前景。
PbS胶体量子点(CQDs)由于具有带隙宽、可调谐以及溶液可加工性强等优点,已广泛应用于气体传感、太阳能电池、红外成像、光电探测以及片上光源的集成光子器件中。然而PbS CQDs普遍存在发射效率低和辐射方向性差的问题,因此科学家们尝试利用半导体等离子体纳米晶或全介质纳米谐振腔来增强PbS CQDs的近红外荧光发射,使其成为更高效、更快的量子发射器。但是普遍存在光场限制能力弱,Q值低的问题。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室采用微纳加工技术,制备了多通道超柔性微电极阵列并集成天然丝蛋白光纤组成的多功能探针(Silk-Optrode),可实现大脑神经信号的精准调控与解析。2022年11月8日,相关研究成果以A silk-based self-adaptive flexible opto-electro neural probe为题,发表在《微系统与纳米工程》(M...
近日,《应用物理评论》(Applied Physics Reviews)在线发表了中国科学院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室欧欣团队撰写的综述文章(Silicon carbide for integrated photonics),并被编辑推荐为该期刊7月份“热点文章”(Featured Article)。该综述以薄膜制备到光子器件实现为主体,全方面回顾了碳化硅单晶薄膜制备及其在集成非光学、...
近日,电子学院张晓升教授课题组在国际重要学术期刊《Nano Energy》(一区期刊,影响因子15.548)上发表了题为“Unidirectional-Current Triboelectric Nanogenerator Based on Periodical Lateral-Cantilevers”的论文。该工作基于周期性侧向悬臂梁的创新设计,提出了一种新型的具有单向电流输出特性的微纳能源器件...
近日,电子学院张晓升教授课题组在纳米科学技术领域重要期刊Nano Energy(一区期刊,影响因子15.548)上发表了题为“Self-Powered Smart Active RFID Tag Integrated with Wearable Hybrid Nanogenerator”的论文,提出了一种单片全集成自驱动智能射频标签(RFID)微系统。电子科技大学为唯一作者单位,硕士生陈英兰为论文...
2018年3月23日上午,上海市科学技术奖励大会在友谊会堂举行,隆重表彰在上海科技创新中作出突出贡献的科技工作者。2017年度上海市科学技术奖共授奖272项(人):授予王曦院士上海市科技功臣奖;授予21项成果上海市自然科学奖,其中一等奖11项;授予31项成果上海市技术发明奖,其中一等奖10项;授予216项成果上海市科技进步奖,其中一等奖33项。上海微系统所硅光子团队的“片上光隔离和衍射极限理论突破...
2013年5月30日至6月2日,第三届超导器件前沿应用国际研讨会(The 3rd International Workshop on Frontier Applications of Superconducting Devices)在中科院上海微系统所召开。此次大会由上海微系统所信息功能材料国家重点实验室主办,来自美国、德国、英国、日本、韩国、澳大利亚及国内南大、物理所、清华、计量院、西南交大等科...

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