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This work presents results related with phase identification and study of the homogeneity in the chemical composition of Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) thin films grown by a chemical reaction of the precursor sp...
AES研究离子溅射TiC薄膜     TiC薄膜  AES  碳偏析  交互作用       2010/4/1
AES研究了离子溅射TiC薄膜的成分分布及表面碳偏析。对升温过程中出现的表面碳偏析和游离态碳钛交互作用机理进行了分析,给出了偏析热力学的实验结果表达式。

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