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上海微系统所在300 mm SOI晶圆制造技术方面实现突破（图）
晶圆制造 薄膜沉积
2023/12/3
2023年10月20日，上海微系统所魏星研究员团队在300 mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展，制备出了国内第一片300 mm 射频（RF）SOI晶圆。团队基于集成电路材料全国重点实验室300 mm SOI研发平台，依次解决了300 mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜沉积、非接触式平坦化等诸多核心技术难题，实现了国内300mm SOI制造技术从无到有的重...
近日，由中核同创（成都）科技有限公司（以下简称“中核同创”）自主设计研发的全国首台“卷到卷在线连续离子注入系统”成功通过技术验收并正式交付合作方，指标满足项目需求，获得客户好评。该系统主要用于新型聚合物薄膜表面改性，可广泛应用到集成电路、医学辅料和真空成型制造等多个领域。
凝聚态物质中奇异的低能激发态，是凝聚态研究中的一个关键课题。角分辨光电子能谱由于能够对相空间电子能带结构进行直接观测，能提供低能激发态的第一手资料，在高温超导材料、新型拓扑材料（如拓扑绝缘体、拓扑半金属等）等前沿物理研究中发挥至关重要的作用。而分子束外延技术能生长出高质量的薄膜材料及相关的异质结和超导格材料，能为材料的基本物性研究和新型功能材料的探索打下基础。把两者结合起来，构建成原位系统，取两者...
一种软磁薄膜磁滞回线测量系统设计
软磁薄膜 退磁修正 磁滞回线 测量系统
2014/4/18
影响磁通门传感器性能的关键因素之一是软磁薄膜铁芯的性能，针对传统方法和现有仪器测量软磁薄膜磁滞回线的缺点，在分析了长条形软磁薄膜的退磁问题基础上，给出了退磁场对磁滞回线影响的修正方法。采用STM32单片机、LabView软件及数字积分技术设计了一种低成本、小误差软磁薄膜自动化测量系统。通过对电镀软磁薄膜和软磁合金带材样品的测试，并与振动样品磁强计测试结果相比较，结果表明两者矫顽力的相对误差在10%...
周期轨道与求迹公式–可积系统
可积系统 周期轨道 求迹公式 态密度
2008/10/16
选择二维无关联四次振子系统作为理论模型来验证Berry–Tabor公式的有效性.在有理环面上积分Hamiltonian运动方程得到一系列的周期轨道,细致构造有理环面附近的轨道得到能量面上的曲率,并应用Berry–Tabor求迹公式经过Fourier变换得到的作用量函数,在作用量S<30的区间上,与得到的相应量子作用量函数进行了比较,其结果的一致性验证了求迹公式的有效性.最后,对量子作用量函数RQM...
我所承担的中科院仪器研制改造项目－“高级光学薄膜成膜系统”通过验收
2007/8/9
由中科院综合计划局主持的院仪器研制改造项目－“高级光学薄膜成膜系统”验收会，于2005年4月1日在我所举行。由上海光机所、复旦大学、上海104所等单位组成的验收专家组，听取了我所第八研究室做的工作报告、测试报告和用户使用报告，并在设备现场进行了实地考察，对相关情况进行了质询。审核了技术档案文件和财务报告，并逐项审核了项目验收的主要技术指标。专家组一致认为技物所项目组成员在研制过程中，作了大量的研制...