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MSM结构ZnO紫外探测器的制备及光电性能研究
ZnO薄膜 紫外探测器 MSM结构 光电性能
2013/9/29
采用磁控溅射方法，在石英衬底上制备了光电性能优良的ZnO紫外探测器。通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜（SEM）观察及X射线衍射（XRD）分析，研究了ZnO紫外 探测器的光电特性。结果表明：探测器的光电流高出暗电流近3个数量级，紫外波段的光响应高出可见光波段近2个数量级，所制备ZnO紫外探测器达到了高辐射灵敏度和可见盲特性 的要求。
利用射频磁控溅射技术在SiO2/n-Si和石英玻璃衬底上制备了具有C轴择优取向的ZnO薄膜，研究了退火对ZnO薄膜特性的影响，并在以SiO2/n-Si为衬底、退火温度为900℃的薄膜上制作了Ag-ZnO-Ag肖特基型和Au-ZnO-Au光电导型 MSM叉指结构的紫外探测器。所制作的两种MSM紫外探测器在350nm波长紫外光照下电流增加，在紫外波段有较高的响应度，光响应度峰值在370nm附近。
Ultraviolet photoconductive detector with high visible rejection and fast photoresponse based on ZnO thin film
ZnO MSM Photoconductive detector Responsivity
2011/12/8
In this study, metal–semiconductor–metal (MSM) photoconductive detector was fabricated on c-axis preferred oriented ZnO film prepared on quartz by radio frequency magnetron sputtering. With the applie...